[实用新型]一种高性能MEMS流量传感器有效
| 申请号： | 202120537861.9 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN214748203U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68;G01F1/688;G01F1/684;G01F15/00;G01L1/18 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市崂山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种高性能MEMS流量传感器，该流量传感器包括：SOI衬底，包括底层硅、埋氧层及顶层硅；腔体，包括第一腔体和第二腔体，均沿上下向贯穿底层硅；敏感材料层，位于所述埋氧层上，由部分所述顶层硅形成，包括温度敏感元件、热电堆、加热器及压力敏感元件；绝缘介质层，覆盖所述敏感材料层，且局部刻蚀出接触孔；金属层，部分金属层通过所述接触孔连接所述敏感材料层。本实用新型采用具有较大塞贝克系数的P型/N型单晶硅作为热电堆材料，可有效提高器件的灵敏度；此外，本实用新型在常规MEMS流量传感器上集成制造了温度敏感单元和压力敏感单元，以便在不增设温度和压力传感器的前提下对流量的测量结果进行补偿，提高器件的检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 性能 mems 流量传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛芯笙微纳电子科技有限公司，未经青岛芯笙微纳电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120537861.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种钢结构夹层连接用抗震连接件
- 下一篇：输液器短管自动涂胶装置
