[实用新型]一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用精馏装置

摘要

本实用新型公开了一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用精馏装置，包括：塔顶冷凝器、精制段、塔釜再沸器，塔釜再沸器包括有热媒进管、换热盘管、热媒出管，热媒进管与热媒出管上均设置有新型智能流量计，两个新型智能流量计之间设置有对比屏，热媒从热媒进管经换热盘管从热媒出管出来后会在新型智能流量计上形成两个数据，数据会在对比屏上得出差异值，过设置的新型智能流量计与对比屏，能够从热媒进管与热媒出管分别测量热媒的进液量与出液量，若发生泄露，则进出的热媒量会发生一定的差异，从而对比屏可得出二者之间的差异值，可得出出换热盘管是否发生泄露的情况，一旦有差异值产生，即可通过报警器发出警报，提示工作人员及时停机调整修复。