[实用新型]一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器有效
申请号: | 202120548768.8 | 申请日: | 2021-03-17 |
公开(公告)号: | CN214954033U | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 王傲;季小全;孙腾飞;梁绍勇;张均钊;崔步天 | 申请(专利权)人: | 核工业西南物理研究院 |
主分类号: | G01R33/07 | 分类号: | G01R33/07 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 伍旭伟 |
地址: | 610000 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器,涉及空间尺寸在微米量级的磁场测量技术领域,包括基底,所述基底表层设有铜引线层和金属敏感层;所述铜引线层和基底上均带有多个铜引线穿孔,所述金属敏感层由金属沉积在基底上形成,所述金属敏感层连接铜引线层用于测量磁场。采用本方案,能够避免聚变实验研究装置上传统磁测量使用积分器带来的累积误差,具有纳米级别的沉积厚度和毫米级尺寸,极大的改善了由于尺寸大带来的空间分辨率低的问题,有效提高了磁场测量的精度和可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 马克 装置 测量 金属 霍尔 探测器 | ||
【主权项】:
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