[实用新型]组合式镀膜系统有效
| 申请号： | 202120555911.6 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN214458318U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 张勇;李学文;李军阳;刘兵吉 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/54 | 分类号： | C23C16/54;C23C16/50;C23C16/24 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 林明校 |
| 地址： | 518118 广东省深圳市坪山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了组合式镀膜系统，可用于对SHJ太阳能电池的基材进行镀膜，包括：基于HWCVD的第一镀膜腔，所述第一镀膜腔在所述基材的一面镀本征硅基薄膜；基于HWCVD的第二镀膜腔，设置在所述第一镀膜腔的后面，在所述基材的另一面镀本征硅基薄膜；基于PECVD的第三镀膜腔，设置在所述第二镀膜腔的后面，在所述基材的一面镀P型掺杂硅基薄膜以及n型掺杂硅基薄膜中的一种；基于PECVD的第四镀膜腔，设置在所述第三镀膜腔的后面，在所述基材的另一面镀P型掺杂硅基薄膜以及n型掺杂硅基薄膜中的另一种。本实用新型的组合式镀膜系统，能够提高太阳能电池的转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 组合式 镀膜 系统 | ||
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
