[实用新型]用于降低光波导损耗的处理装置

摘要

本实用新型提供了一种用于降低光波导损耗的处理装置，该处理装置包括加热装置和导热件；所述加热装置至少包括加热板和与所述加热板控制连接的温控系统，所述加热板具有外露设置的加热表面；所述导热件放置于所述加热表面上，其用于承载光子芯片。该处理装置通过设置具有外露加热表面的加热板，实现了开放型加热装置的设计，避免了封闭式加热炉需打开炉门操作导致的光子芯片上应力分布发生变化的弊端；同时通过导热件的设置，可以在加热板的温度降至目标温度时，直接将导热件和光子芯片一并取下，使得光子芯片高效实现预设温度曲线下的低温烘烤处理，达到消除或降低划片造成的应力问题。