[实用新型]镀膜装置及其进料组件有效

专利信息
申请号: 202120574359.5 申请日: 2021-03-19
公开(公告)号: CN214572216U 公开(公告)日: 2021-11-02
发明(设计)人: 宗坚;文毅 申请(专利权)人: 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;C23C16/50
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 骆苏华
地址: 214000 江苏省无锡市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型主要提供一种镀膜装置及其进料组件,所述镀膜装置的进料组件包括至少一进料主体,所述进料主体上设置有至少一进料口和一进料引流件,所述进料主体包括一封闭端部和一开口端部,所述进料引流件被设置于所述进料主体上且所述进料引流件的末端位于所述开口端部,以将所述进料主体的所述开口端部区隔为多个进料通道,从而使从所述进料口进入的镀膜原料能够从多个所述进料通道沿着所述镀膜腔体的内侧壁扩散至所述镀膜腔体内。所述镀膜装置的进料组件能够对进入所述镀膜装置的镀膜原料的流向进行控制,从而使所述镀膜装置内部的至少一待镀膜产品的表面能够得到均匀镀膜。
搜索关键词: 镀膜 装置 及其 进料 组件
【主权项】:
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