[实用新型]DMD坏点补偿曝光装置有效
| 申请号： | 202120575321.X | 申请日： | 2021-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN215986896U | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 刘大有;简志桦;赖建华;陈世勋 | 申请（专利权）人： | 刘大有;赖建华;简志桦;陈世勋 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 朱丽华 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种DMD坏点补偿曝光装置，包括有一DMD曝光机、一检测单元及一光线补偿投射处理器。DMD曝光机，其具有复数个构成阵列的微反射镜，该DMD曝光机与DMD控制器的控制端连接，各微反射镜由该DMD控制器控制改变角度；一电性连接于该DMD曝光机的检测单元，该检测单元的检测接收端与各微反射镜连接，用以检测各微反射镜是否可以反射光线；一电性连接于该检测单元的光线补偿投射处理器。 | ||
| 搜索关键词： | dmd 补偿 曝光 装置 | ||
【主权项】：
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