[实用新型]一种玻璃晶圆加工用固定夹持装置有效
| 申请号： | 202120588225.9 | 申请日： | 2021-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN214829916U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 李长坤;谢永奕;王永 | 申请（专利权）人： | 广东硅峰半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C03B23/047 | 分类号： | C03B23/047;C03B20/00 |
| 代理公司： | 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 | 代理人： | 王峰刚 |
| 地址： | 529000 广东省江门市江*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及玻璃圆加工技术领域，且公开了一种玻璃晶圆加工用固定夹持装置，包括中频炉和牵引装置，所述牵引装置的顶部固定安装有固定杆，所述固定杆的外部活动安装有转动套，所述转动套和固定杆之间活动安装有扭力弹簧，所述中频炉的内部设有石英砣，所述转动套的外部左侧固定安装有位于石英砣外部的夹持环，所述夹持环的顶端固定安装有卡合装置。该玻璃晶圆加工用固定夹持装置，通过设置夹持环由对称设置的半圆弧状夹件组成，并在顶端设有卡合装置，使夹持环夹持稳定，通过设置牵引杆和夹持环与扭力弹簧固定连接，使夹持环便于开合，通过设置固定杆穿过转动套并转动连接，使夹持装置便于与牵引装置进行连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 晶圆加 工用 固定 夹持 装置 | ||
【主权项】：
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