[实用新型]一种芯片上表面外观缺陷检测装置有效
申请号: | 202120589848.8 | 申请日: | 2021-03-23 |
公开(公告)号: | CN215179575U | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 董长国;王鹏;唐松林 | 申请(专利权)人: | 王唐(苏州)机器人智能科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/95 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 李艾 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种芯片上表面外观缺陷检测装置,包括相机、光源组和支架,所述支架与所述相机相连,所述光源组包括垂直光源与零度光源,所述垂直光源与所述相机相连,所述垂直光源下方设置有支撑底座,所述零度光源设置于所述支撑底座上,所述相机与所述支架之间设置有多方位调节机构。通过零度光源的照射,相机能够清晰地拍摄到芯片的边、角,可以检测芯片是否有崩边、崩角,提高了芯片的检测效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 表面 外观 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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