[实用新型]一种镀膜球盘有效
| 申请号： | 202120598180.3 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN215328339U | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 庞立龙;王志光;申铁龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所;惠州先进能源与材料研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/48;C23C14/35;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 王春霞 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀膜球盘。所述镀膜球盘包括一盘体，盘体内设有若干同心的流道；流道的宽度为金属球直径的1.2～1.5倍。本实用新型镀膜球盘的结构设计简单、精巧，辅以驱动程序控制，调试快捷，易于操作，可以实现球体高效批量镀膜；而且安装、拆卸方便，易于对镀膜样品盘清洗。由于本实用新型省去了一些复杂的构件，镀膜过程中不易产生放电，镀膜质量高，可以用于多种方法镀膜，如阴极弧、磁控溅射、等离子浸没注入、离子注入等技术方法对小球进行表面处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 | ||
【主权项】：
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