[实用新型]一种方便清理的旋涂设备有效
| 申请号： | 202120607328.5 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN214718029U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B05C11/08 | 分类号： | B05C11/08;B05C11/10 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266109 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种方便清理的旋涂设备，所述旋转单元的外侧安装有可拆卸的旋涂腔体单元，且旋转单元固定安装在旋涂腔体单元的内部底端，所述旋转单元和旋涂腔体单元的下端固定安装有排放单元。旋涂腔体单元能有效回收旋涂时产生的废液，旋涂腔体可以从设备上拆下，方便彻底的清理旋涂腔，设置防背溅盘防止旋涂时胶体溅射在基片背面，污染基片，优化了旋涂设备的排气系统，排气系统在旋涂腔下方，废气向下吸收，避免人工点胶的时候吸入有毒气体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 方便 清理 设备 | ||
【主权项】：
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