[实用新型]承载装置及检测设备有效
| 申请号： | 202120613003.8 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN215340166U | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 邓曾红;黄有为;魏林鹏;陈鲁;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04 |
| 代理公司： | 深圳壹舟知识产权代理事务所(普通合伙) 44331 | 代理人： | 寇闯 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种承载装置及检测设备，所述晶圆承载装置包括承载本体与多个限位件，所述多个限位件沿所述承载本体的周侧设置，所述限位件包括支撑柱与限位凸台，所述限位凸台用于避免晶圆在所述晶圆承载装置上发生移动，所述限位凸台包括第一限位面与第二限位面，所述第一限位面与所述第二限位面的夹角为第一夹角，所述第一夹角为锐角。本申请避免由于激光照射在所述限位件上后发生反射，在晶圆的待测面形成光斑，影响晶圆的检测结果的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 承载 装置 检测 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳中科飞测科技股份有限公司，未经深圳中科飞测科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120613003.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可涨紧自动人行道
- 下一篇：一种生产电磁铁铸件用工装夹具
