[实用新型]一种多样式、多工位公自转在线更换、无缝掩膜装置有效
| 申请号： | 202120629800.5 | 申请日： | 2021-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN214612722U | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 魏守冲;曹宇 | 申请（专利权）人： | 磐石创新（江苏）电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京东方昭阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11599 | 代理人： | 方兰 |
| 地址： | 221011 江苏省徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种多样式、多工位公自转在线更换、无缝掩膜装置，包括挡板，掩膜版托盘，样品托盘，公转工件盘，角接触轴承，轴承隔垫，自转齿轮，高温弹簧，定位轴套，DN200标准法兰，磁流体A，伺服电机A，焊接波纹管，磁流体B，伺服电机B，光轴A，伺服电机C，丝杠，升降上连接板，光轴B，升降中连接板，升降下连接板，不动轴，固定齿轮，公转轴；其具有结构设计合理、操作方便、运行稳定可靠，能够提高产品薄膜的均匀性，且能够实现多层图形镀膜等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多样 多工位公 自转 在线 更换 无缝 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于磐石创新（江苏）电子装备有限公司，未经磐石创新（江苏）电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120629800.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
