[实用新型]一种循环吹气式烘干槽

摘要

本实用新型提供了一种循环吹气式烘干槽，包括外槽体和内槽体，外槽体和内槽体均开口朝上且内槽体设置在外槽体的内部，外槽体的开口端与内槽体外壁之间采用密封连接并形成第一腔体，内槽体的开口端设置有槽盖形成第二腔体，内槽体和/或槽盖连接有鼓风泵，槽盖上设置有排湿口，内槽体的侧壁上设置有若干第一进气孔，内槽体底部设置有抽气口，外槽体的底部设置有离心涡轮风机，离心涡轮风机的叶轮位于第一腔体内抽气口的下方。本实用新型提供的循环吹气式烘干槽，采用吹气加吸气的组合，使槽体内形成气流循环，并对气体进行加热，提高烘干效果，缩短烘干时间，同时增加多重过滤，保证槽内的洁净度，防止硅片受到污染。