[实用新型]多弧离子镀膜机有效
| 申请号： | 202120636477.4 | 申请日： | 2021-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN214572201U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 王君;王思航;闫超颖;汪友林;李昌华 | 申请（专利权）人： | 沈阳爱科斯科技有限公司;江苏爱科斯真空科技有限公司;辽宁卓越真空设备有限公司;王君 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 武慧南 |
| 地址： | 110000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种多弧离子镀膜机。一种多弧离子镀膜机，包括镀膜室以及电弧蒸发源；镀膜室包括侧壁段，侧壁段包括顺次连接而成的多个侧壁，在侧壁段中，相邻侧壁中的其中一个侧壁上至少设置有一个电弧蒸发源，另一个侧壁上至少间隔设置有两个电弧蒸发源，且相邻侧壁上的所述电弧蒸发源在侧壁的高度方向上交错设置。镀膜室上的相邻两个侧壁上的电弧蒸发源在镀膜时，其镀膜面积会重叠，从而形成有有效的镀膜面积，此有效的镀膜面积能够尽可能的保证待镀件的镀膜效果。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 镀膜 | ||
【主权项】：
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