[实用新型]一种阵列式压力测量装置有效
| 申请号： | 202120645038.X | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN214407855U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 马盛林;黄漪婧;练婷婷;汪郅桢 | 申请（专利权）人： | 明晶芯晟（成都）科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01L9/02 | 分类号： | G01L9/02 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 610000 四川省成都市（四川）自由贸易*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种阵列式压力测量装置，包括：压阻敏感芯片，用于在其的正面施加参考压，在背面施加外界气体压力，产生压力差；电路系统，用于将所述产生压力差转化为正比于压力变化的电信号输出并处理计算；气路系统，用于提供气压并对所述压阻敏感芯片的两面作用，以产生所述压力差。本实用新型，合金基板与压阻敏感芯片之间采用封装密封胶直接粘结，PCB板位于压阻敏感芯片两侧进行电气互连，可降低装配应力，为压阻敏感芯片应力与温度状态的精准控制提供了支撑，便于拆卸并单独替换压阻敏感芯片或相关电路系统元器件，多层电路片堆叠集成，内部集成气路系统有利于整个压力测量装置装配体的小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 压力 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于明晶芯晟（成都）科技有限责任公司，未经明晶芯晟（成都）科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120645038.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种智能LED调光控制器
- 下一篇：一种便于调节的流式细胞仪分析仪
