[实用新型]一种晶片抛光用多层抛光垫

摘要

本实用新型公开了一种晶片抛光用多层抛光垫，包括基础圆板、护圈、吸灰层、抛光层和隔离网，基础圆板、吸灰层和隔离网均位于护圈的内侧，吸灰层的一面侧壁通过粘合剂复合在基础圆板上，吸灰层的另一面侧壁通过粘合剂连接隔离网，隔离网的外表面复合有均匀分布的抛光层，吸灰层、抛光层和隔离网均设有两组，这样多层抛光垫可以双面使用，在一定成程度上减少的原材料的消耗，吸灰层可以承受小规模的形变，来进行灰尘的收集，吸灰层的厚度值较大来保证吸灰量，减少整个抛光垫更换的次数，吸灰层通过隔离网连接抛光层，隔离网和环槽均与护圈的内壁接触连接，环槽安装后起到一定的限位作用，保证隔离网的竖直运动。