[实用新型]一种电子探针薄片样品台

摘要

本实用新型公开了一种电子探针薄片样品台，包括滑轨座、竖向板、底座和设置在底座上的样品台，样品台的底部设置有连接部件，连接部件包括设置在样品台的底部且伸入底座内的套筒和穿设在套筒中的连接轴，连接轴伸出套筒的两端穿过底座，底座的顶部和套筒的顶部相齐平，样品台能绕连接轴旋转，套筒上设置有两个对称布设的限位块，底座中设置有与限位块配合的限位槽，连接轴能带动套筒靠近或者远离限位槽。本实用新型通过样品台的翻转以使电子探针薄片在安装到样品台的底部时测试面朝下，避免电子探针薄片的测试面受到测试人员接触而被污染，提高测试精度。