[实用新型]MEMS振动传感器有效
| 申请号： | 202120706035.2 | 申请日： | 2021-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN214936041U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | V·钱德拉塞克兰;K·邓 | 申请（专利权）人： | 美商楼氏电子有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 付林;王小东 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种MEMS振动传感器。所述MEMS振动传感器使用具有嵌入其中的电气隔离的金属结构的检验质量块。在一个实现方式中，检验质量块通过弹性结构从(从基底延伸的)锚悬挂。在另一实现方式中，检验质量块由弹性结构从(基底中的)凹部的边缘悬挂。嵌入的金属结构提供了额外的质量，而没有检验质量块的尺寸的任何增加。金属结构可以是例如未被使用且未被(电)连接到任何其它的硅通孔(TSV)。 | ||
| 搜索关键词： | mems 振动 传感器 | ||
【主权项】：
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