[实用新型]一种单晶硅片生产用保存装置

摘要

本实用公开了一种单晶硅片生产用保存装置，包括存放座和盖罩，所述盖罩可盖合在存放座上，存放座内通过若干均布的下隔板分隔成若干下存放槽，若干下存放槽的底部设有隔板，所述盖罩内通过若干均布的上隔板分隔成若干盖槽，每个下存放槽内安装有一个承载块，每个承载块下方的隔板上对应设置一个通槽，每个承载块下方铰接有一根顶杆，每根所述顶杆的下端与一根拨杆的一端铰接，每根所述拨杆的中间位置与存放座的内侧壁铰接，每根所述拨杆的另一端设有拨柄；通过在每个下存放槽底部设置一个铰接顶杆和拨杆结构，通过按压相应的拨柄，即可将对应的单晶硅片顶起取出，同时每片单晶硅片单独存放在独立的腔内，可避免搬运过程中，单晶硅片相互碰撞。