[实用新型]制备一氧化硅用卧式真空炉

摘要

本实用新型提供了制备一氧化硅用卧式真空炉，涉及真空反应设备技术领域。该卧式真空炉包括卧式炉体，卧式炉体内设有用于对制备一氧化硅的原料进行高温加热的真空加热机构以及对一氧化硅产物进行收集、冷却的冷却收集机构；旋转腔室适配安装于加热室的内腔且可绕加热室的轴心旋转，加热室靠近冷却收集机构的一侧底部通过排料阀可与冷却收集机构连通。本实用新型旋转腔室在负压加热的过程中绕加热室的轴心旋转，原料SiO2和Si接触几率增加，混合及受热更加均匀，提高加热得到SiO的效率，而且冷却至适当温度后的SiO产物沿排料阀进入冷却收集机构后，更加高效地降温冷却并收集，进一步提高成品的制备效率。