[实用新型]一种半导体材料加工用冷凝装置有效

专利信息
申请号: 202120736760.4 申请日: 2021-04-12
公开(公告)号: CN214537428U 公开(公告)日: 2021-10-29
发明(设计)人: 李辉;周君祺;于丕永;曲兴启;邹琳 申请(专利权)人: 山东恒邦冶炼股份有限公司
主分类号: F27D15/02 分类号: F27D15/02
代理公司: 重庆鼎鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 50265 代理人: 俞晓明
地址: 264100 山*** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种半导体材料加工用冷凝装置,包括支撑板与放置板,支撑板与放置板之间设置有立柱;放置板上设置有冷却箱,冷却箱上设置有放置腔,放置腔内设置有模具盘与导热板,导热板底端设置有多个散热头;支撑板上设置有水箱,冷却箱两侧分别设置有引水组件与排水组件,引水组件与排水组件均与水箱连接;水箱上设置有散热组件;放置板上设置有立板,立板上设置有第二散热风扇,本实用新型通过引水组件与排水组件配合,可使冷却箱内的冷却水形成流动的循环水,冷却水在流动时即可带走模具盘上的热量;通过启动设置的第二散热风扇,使得第二散热风扇吹出风,以实现对模具盘内的半导体材料进行风冷作业。
搜索关键词: 一种 半导体材料 工用 冷凝 装置
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东恒邦冶炼股份有限公司,未经山东恒邦冶炼股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202120736760.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top