[实用新型]一种半导体材料加工用冷凝装置有效
申请号: | 202120736760.4 | 申请日: | 2021-04-12 |
公开(公告)号: | CN214537428U | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 李辉;周君祺;于丕永;曲兴启;邹琳 | 申请(专利权)人: | 山东恒邦冶炼股份有限公司 |
主分类号: | F27D15/02 | 分类号: | F27D15/02 |
代理公司: | 重庆鼎鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 50265 | 代理人: | 俞晓明 |
地址: | 264100 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体材料加工用冷凝装置,包括支撑板与放置板,支撑板与放置板之间设置有立柱;放置板上设置有冷却箱,冷却箱上设置有放置腔,放置腔内设置有模具盘与导热板,导热板底端设置有多个散热头;支撑板上设置有水箱,冷却箱两侧分别设置有引水组件与排水组件,引水组件与排水组件均与水箱连接;水箱上设置有散热组件;放置板上设置有立板,立板上设置有第二散热风扇,本实用新型通过引水组件与排水组件配合,可使冷却箱内的冷却水形成流动的循环水,冷却水在流动时即可带走模具盘上的热量;通过启动设置的第二散热风扇,使得第二散热风扇吹出风,以实现对模具盘内的半导体材料进行风冷作业。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体材料 工用 冷凝 装置 | ||
【主权项】:
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