[实用新型]一种运动装置及工作平台有效

专利信息
申请号: 202120737306.0 申请日: 2021-04-12
公开(公告)号: CN214428605U 公开(公告)日: 2021-10-19
发明(设计)人: 陈啸虎;江旭初;吴火亮;袁嘉欣;唐艳文;董亚聪 申请(专利权)人: 上海隐冠半导体技术有限公司;唐人制造(嘉善)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 200135 上海市浦东新区自*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种运动装置及工作平台,涉及集成电路制造技术领域。该运动装置包括座体、垂向运动机构和旋转运动机构,垂向运动机构设置于座体内,且能够沿座体的高度方向上下运动;旋转运动机构设置于垂向运动机构内,旋转运动机构能够相对垂向运动机构旋转,且能够在垂向运动机构的带动下沿座体的高度方向上下运动。本实用新型提供的运动装置,将垂向运动机构设置于座体内,并沿座体的高度方向上下运动,垂向运动机构的垂向行程可根据需求设置,满足了垂向运动的长行程需求。将旋转运动机构设置于垂向运动机构内,使得旋转运动机构不占用运动装置的垂向空间,满足运动装置的扁平化设计。
搜索关键词: 一种 运动 装置 工作 平台
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海隐冠半导体技术有限公司;唐人制造(嘉善)有限公司,未经上海隐冠半导体技术有限公司;唐人制造(嘉善)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202120737306.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top