[实用新型]一种运动装置及工作平台有效
| 申请号： | 202120737306.0 | 申请日： | 2021-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN214428605U | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 陈啸虎;江旭初;吴火亮;袁嘉欣;唐艳文;董亚聪 | 申请（专利权）人： | 上海隐冠半导体技术有限公司;唐人制造（嘉善）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 200135 上海市浦东新区自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种运动装置及工作平台，涉及集成电路制造技术领域。该运动装置包括座体、垂向运动机构和旋转运动机构，垂向运动机构设置于座体内，且能够沿座体的高度方向上下运动；旋转运动机构设置于垂向运动机构内，旋转运动机构能够相对垂向运动机构旋转，且能够在垂向运动机构的带动下沿座体的高度方向上下运动。本实用新型提供的运动装置，将垂向运动机构设置于座体内，并沿座体的高度方向上下运动，垂向运动机构的垂向行程可根据需求设置，满足了垂向运动的长行程需求。将旋转运动机构设置于垂向运动机构内，使得旋转运动机构不占用运动装置的垂向空间，满足运动装置的扁平化设计。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 运动 装置 工作 平台 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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