[实用新型]一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构

摘要

本实用新型公开一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构，包括摆臂支座、摆臂机构和管线机构，摆臂支座包括主摆臂支架、旋转电机连接座和管线定位器，旋转电机连接座连接在主摆臂支架上，旋转电机定位座的上端中部开设有连接管线定位器的第一凹槽，第一凹槽两侧分别设有第一管线走线槽和第二管线走线槽；摆臂机构包括第一摆臂、第二摆臂、第一吸嘴组件和第二吸嘴组件，主摆臂支架上连有第一音圈电机组件和第二音圈电机组件；管线机构包括第一电机导线、第二电机导线、第一气管和第二气管，第一摆臂上设有第一气管定位组件，第二摆臂上设有第二气管定位组件。该摆臂校准结构简单新颖，容易校准，性能稳定，并且线路定位合理，后期维护方便简单。