[实用新型]一种用于晶圆自动导片的暂存装置

摘要

本实用新型涉及一种用于晶圆自动导片的暂存装置，其包括竖直设置的架板、设置在架板上的夹臂组件，夹臂组件包括分别自架板向外延伸的左夹臂和右夹臂、及驱动左夹臂和右夹臂同步运动的驱动部件，当晶圆导片至左夹臂与右夹臂之间时，驱动部件驱动左夹臂和右夹臂同步运动，左夹臂与右夹臂之间形成上宽下窄的晶圆暂存区，晶圆卡设在晶圆暂存区内。本实用新型通过左夹臂和右夹臂之间同步运动，形成上宽下窄的晶圆暂存区，使得晶圆能够卡设在晶圆暂存区内，无需对晶圆本体施加夹紧力，避免了夹臂对晶圆的磨损，保证了晶圆的质量，提高晶圆的良品率。