[实用新型]一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉有效
| 申请号： | 202120767366.7 | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN214572375U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 许耀迪 | 申请（专利权）人： | 厦门天三半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙) 11825 | 代理人： | 田江飞 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉，包括生长炉本体和通风柱，生长炉本体的一侧设有出风管，出风管的内部开设有三号出风口，生长炉本体的一侧设有与三号出风口配合的通风柱，通风柱的内部设有调整机构，通风柱的一侧设有通风箱，通风箱的内部滑动连接有一号过滤网，出风管的一侧固定连接有两个固定板，本实用新型的有益效果是：通过加入了齿条，齿条通过齿轮带动转杆转动，转杆带动二号挡风板进行转动，实现了一号出风口和二号出风口之间的位置调节，通过加入了集尘抽箱，实现了对一号过滤网过滤的废渣进行收集，通过加入了二号过滤网和三号过滤网，实现了对废气的处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 方便 风量 调节 高温 感应 加热 碳化硅 生长 | ||
【主权项】：
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