[实用新型]PVD托盘结构有效
| 申请号： | 202120777057.8 | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN215628263U | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 任明冲;朱玉龙;赵峰;谷士斌;蔡涔;黄强 | 申请（专利权）人： | 东方日升（常州）新能源有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 韩潇 |
| 地址： | 213200 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及托盘水汽处理技术领域，特别是涉及一种PVD托盘结构。该PVD托盘结构包括托盘以及盖板组件，托盘的一表面上开设有容置待镀膜件的容置槽；盖板组件可拆卸地与托盘连接，并能够覆盖于托盘具有容置槽的表面上；其中，盖板组件开设有贯穿的过料槽，在盖板组件覆盖于托盘上时，过料槽与容置槽对应设置。本实用新型的优点在于：盖板组件能够把托盘上除待镀膜件外的其他区域进行有效保护，使TCO膜不会镀在托盘上，避免托盘上的TCO膜吸收空气中的水分，且无需通过预热腔加热或者对托盘进行清洁的方式处理，大大降低成本，节约时间；并且，操作方便、简单快捷、利用率高，也不会对托盘自身的结构、平整度和组装精度造成影响。 | ||
| 搜索关键词： | pvd 托盘 结构 | ||
【主权项】：
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