[实用新型]一种基板夹持件及包含其的镀膜装置有效
| 申请号： | 202120782270.8 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN215103514U | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 刘亮;肖畅;李义信;王舰艺 | 申请（专利权）人： | 布勒莱宝光学设备（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人： | 安娜 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供基板夹持件，包括：支撑板，所述支撑板的左右两端对称设置有多个沿第一方向间隔设置的开槽，每个开槽沿第二方向延伸形成，并且每个开槽的开口端上设置有相对设置的两个橡胶块，两个橡胶块之间的间隔小于被夹持的基板的厚度，第一方向与第二方向垂直。本实用新型还提供一种包含其的镀膜装置。本实用新型能够保证微型基板在镀膜过程中不掉落并且不会被损坏，并且一次镀膜量大。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 夹持 包含 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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