[实用新型]一种双向进出管式PECVD设备

摘要

本实用新型公开了一种双向进出管式PECVD设备，包括放舟室、预热室、PECVD反应室、冷却室和取舟室，所述放舟室左侧设置有预热室，所述预热室左侧设置有PECVD反应室，所述PECVD反应室左侧设置有冷却室，所述冷却室左侧设置有取舟室，当石墨舟通过预热室送入PECVD反应室中进行反应，由于反应室中发生的离子反应会有剧烈噪音、辐射、有害气体等，通过防辐射层和隔音层可以有效的隔绝一定的辐射和噪音，通过缓冲垫和弹簧可以有效的对可能发生的震动起到缓冲作用，该机构可以有效防止的PECVD设备内部离子在反应时会有剧烈噪音、辐射、有害气体等，工作人员在工作时会由于这些可能会照成一定的伤害，同时剧烈的噪音可能会导致设置震动，导致反应效果不理想的问题。