[实用新型]碳化硅生长装置有效
| 申请号： | 202120795362.X | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN214572360U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 汪良;张洁;王旻峰 | 申请（专利权）人： | 福建北电新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 冯洁 |
| 地址： | 362200 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种碳化硅生长装置；碳化硅生长装置包括坩埚和过滤组件；过滤组件设置于坩埚内，且过滤组件将坩埚的内部划分为沿上下方向分布的第一腔体和第二腔体；其中，过滤组件包括第一孔板和铺设于第一孔板上的碳化硅颗粒层，且碳化硅颗粒层位于第二腔体内。本实用新型提供的碳化硅生长装置能够减少晶体中的碳包裹物，提高制备出的碳化硅衬底的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 生长 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建北电新材料科技有限公司，未经福建北电新材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120795362.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种W钢带井字形护板
- 下一篇：一种陶片生产用原料搅拌装置
