[实用新型]一种真空连续投料装置有效
| 申请号： | 202120795564.4 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN214732893U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 叶宏伦;蔡斯元;蔡期开;洪天河;钟其龙;刘崇志 | 申请（专利权）人： | 芯璨半导体科技（山东）有限公司 |
| 主分类号： | B65G65/48 | 分类号： | B65G65/48;B65D90/58 |
| 代理公司： | 泉州市文华专利代理有限公司 35205 | 代理人： | 陈雪莹 |
| 地址： | 250000 山东省济南*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空连续投料装置，其包括料槽、料盖以及真空泵系统；所述料槽呈斗状，料槽的上端开口为进料口，料槽的下端开口为出料孔，所述出料孔依次连接出料阀、真空开关阀和晶锭生长装置的进料孔；所述料盖封堵进料口；所述真空泵系统通过管道连通料槽内部。本实用新型通过料盖将料槽的进料口封堵，通过出料阀将料槽的出料孔闭合使得源料不会掉落污染真空开关阀，而真空开关阀更进一步地密封隔绝开料槽和晶锭生长装置，使得料槽的槽内形成了独立的封闭空间，再通过真空泵系统对这个封闭空间进行抽真空直至符合要求，可以打开真空开关阀进行真空投料。本实用新型结构简单便于操作，可以在不干扰晶锭生产的前提下完成连续真空投料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 连续 投料 装置 | ||
【主权项】：
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