[实用新型]冷等离子真空反应室真空腔用放气阀有效
| 申请号： | 202120803629.5 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN214743369U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 朱劼;吴军;吴萍 | 申请（专利权）人： | 常州汉劼生物科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/00 | 分类号： | F16K1/00;F16K27/02;F16K1/36;F16K1/42;F16K1/46 |
| 代理公司： | 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 213000 江苏省常州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及放气阀装置领域，尤其涉及冷等离子真空反应室真空腔用放气阀。包括放气阀本体，放气阀本体的阀体内设有活塞杆，活塞杆的端部的密封盘底面上设有密封圈；所述阀体底面上设有通孔，通孔外侧的阀体上设有与密封圈配合使用的密封槽；所述密封圈上方的活塞杆上套设有复位弹簧，阀体侧面设有外接管；通过在活塞杆设置密封盘和与密封盘配套使用的密封圈，以增强通孔处的密封效果。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 真空 反应 空腔 气阀 | ||
【主权项】：
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