[实用新型]螺杆真空泵真空供气装置

摘要

本实用新型公开了螺杆真空泵真空供气装置，包括反应釜、工艺真空抽气口、真空前置一级处理器、进气电动阀、真空前置二级过滤器、旋风冷却处理器、冷凝水回收系统、冷凝水排放口、螺杆真空泵、排气接口和控制电箱，所述反应釜与工艺真空抽气口、工艺真空抽气口与真空前置一级处理器、真空前置一级处理器和进气电动阀、进气电动阀与真空前置二级过滤器、真空前置二级过滤器与旋风冷却处理器、旋风冷却处理器与冷凝水回收系统、冷凝水回收系统和冷凝水排放口、旋风冷却处理器与螺杆真空泵、螺杆真空泵与排气接口之间均通过管道相互连接。本实用新型所述的螺杆真空泵真空供气装置，减少气体压损，提高真空工艺稳定性，并减少日常维护频率。