[实用新型]一种测量LDI内层对位精度的装置有效
| 申请号： | 202120817212.4 | 申请日： | 2021-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN215181399U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 蔡文涛;邱田生;詹泽军 | 申请（专利权）人： | 东莞市多普光电设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 广东莞信律师事务所 44332 | 代理人： | 谢树宏 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种测量LDI内层对位精度的装置，包括基座，基座上设有XYZ移动台、由该XYZ移动台控制移动的吸盘台面和下对准组件，吸盘台面的一端设有能够移动的标定靶点，基座上还设有支架，支架的横梁上设有第一相机和能够水平移动的第二相机，吸盘台面的边缘间隔设有多个靶点光源；本实用新型采用双向对摄抓点的视觉对位方法，抓取内层板上下两面的图形点。图形点由LDI曝光在内层板AB面再经显影蚀刻而得，A面和B面的图形点理论同心。先确认好第二相机和下对准组件相对于LDI曝光系统坐标系的旋转矩阵，再让第二相机和下对准组读取同一靶点，获取上下相机的同轴位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 ldi 内层 对位 精度 装置 | ||
【主权项】：
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