[实用新型]一种双模式芯片剥离顶针驱动装置有效

专利信息
申请号: 202120843797.7 申请日: 2021-04-22
公开(公告)号: CN215118870U 公开(公告)日: 2021-12-10
发明(设计)人: 凌涵君 申请(专利权)人: 深圳市锐博自动化设备有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/683
代理公司: 深圳市科冠知识产权代理有限公司 44355 代理人: 蒋芳霞
地址: 518000 广东省深圳市宝安区石岩*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种双模式芯片剥离顶针驱动装置,包括驱动顶针升降的顶针驱动机构、驱动顶针帽相对于顶针上下活动的顶针帽驱动机构、驱动顶针驱动机构和顶针帽驱动机构升降的高度定位机构;顶针帽上成型有用于吸附蓝膜的负压气口,顶针驱动机构包括旋转件、驱动旋转件水平旋转的旋转驱动组件,和固定顶针的顶针夹持件;旋转件的顶面上成型有推动顶针夹持件升降的第一抬升斜面,可根据拾取不同芯片选择顶针上顶模式或顶针帽下拉模式,即顶针帽吸附蓝膜将其往下拉使得顶针刺破蓝膜进而将芯片剥离,或顶针帽预先吸附蓝膜顶针再上顶将芯片剥离;而专门设计的顶针驱动机构则可以保证顶针的移动精度。
搜索关键词: 一种 双模 芯片 剥离 顶针 驱动 装置
【主权项】:
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