[实用新型]一种双模式芯片剥离顶针驱动装置有效
申请号: | 202120843797.7 | 申请日: | 2021-04-22 |
公开(公告)号: | CN215118870U | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 凌涵君 | 申请(专利权)人: | 深圳市锐博自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/683 |
代理公司: | 深圳市科冠知识产权代理有限公司 44355 | 代理人: | 蒋芳霞 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区石岩*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种双模式芯片剥离顶针驱动装置,包括驱动顶针升降的顶针驱动机构、驱动顶针帽相对于顶针上下活动的顶针帽驱动机构、驱动顶针驱动机构和顶针帽驱动机构升降的高度定位机构;顶针帽上成型有用于吸附蓝膜的负压气口,顶针驱动机构包括旋转件、驱动旋转件水平旋转的旋转驱动组件,和固定顶针的顶针夹持件;旋转件的顶面上成型有推动顶针夹持件升降的第一抬升斜面,可根据拾取不同芯片选择顶针上顶模式或顶针帽下拉模式,即顶针帽吸附蓝膜将其往下拉使得顶针刺破蓝膜进而将芯片剥离,或顶针帽预先吸附蓝膜顶针再上顶将芯片剥离;而专门设计的顶针驱动机构则可以保证顶针的移动精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 双模 芯片 剥离 顶针 驱动 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造