[实用新型]一种可区分晶面的碳化硅晶体有效
| 申请号： | 202120873834.9 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN218989480U | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 戴鑫;魏汝省;李斌;毛开礼;李天;范云 | 申请（专利权）人： | 山西烁科晶体有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;G09F7/16 |
| 代理公司： | 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109 | 代理人： | 崔雪花;冷锦超 |
| 地址： | 030006 山西省太*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可区分晶面的碳化硅晶体，涉及碳化硅单晶制备技术领域；所述晶体的上或下表面为碳面，相对另一面为硅面；碳面和硅面之间为晶体本体，所述晶体本体的侧面设置有刻制的标识结构，所述标识结构的刻制深度为10‑50μm，标识结构用于区分碳面和硅面；本实用新型通过在晶体的侧面通过刻痕的形式设置标识结构，不易在生产加工的过程中消除或引入杂质污染，且可以方便快速的对晶锭或晶片两个晶面进行区分，提高了加工生产的效率；解决了碳化硅晶锭/片及加工过程中碳化硅晶锭/片晶面易混淆，无法识别的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 区分 碳化硅 晶体 | ||
【主权项】：
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