[实用新型]一种具有垂直排列热电偶的MEMS热电堆结构有效
| 申请号： | 202120901095.X | 申请日： | 2021-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN216250787U | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 刘同庆 | 申请（专利权）人： | 无锡芯感智半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L35/32 | 分类号： | H01L35/32;H01L35/10;H01L35/02;H01L35/04;B81B7/02;B81B7/04;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京哌智科创知识产权代理事务所(普通合伙) 11745 | 代理人： | 邢磊 |
| 地址： | 江苏省无锡市滨湖区建*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有垂直排列热电偶的MEMS热电堆结构，包括硅基底，所述硅基底上设有第一绝缘膜层，所述第一绝缘膜层上设有两个电极焊盘以及多个第一金属电极，多个所述第一金属电极呈行列排布；所述第一金属电极上方设置有串联连接的多个热电偶对，两个所述电极焊盘分别连接于串联连接的热电偶对的两端；所述热电偶对上方设有呈行列排布的多个第二金属电极。本实用新型，通过垂直结构布置的热电的方式，有利于实现热电偶对数量的增多，从而能显著提高热电堆的灵敏度和响应率，采用本实用新型的具有垂直排列热电偶的MEMS热电堆结构可以进一步缩小热电偶器件的面积，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 垂直 排列 热电偶 mems 热电 结构 | ||
【主权项】：
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