[实用新型]一种硅板提篮有效
| 申请号： | 202120904070.5 | 申请日： | 2021-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN214797360U | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 徐爱民;顾标琴 | 申请（专利权）人： | 江苏扬杰润奥半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/673 |
| 代理公司： | 南京源点知识产权代理有限公司 32545 | 代理人： | 黄启兵 |
| 地址： | 225000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于半导体元件制造用具技术领域，尤其涉及一种硅板提篮。其包括：立板、限位杆及提手，两立板相对间隔设置，限位杆连接在两立板之间，限位杆上间隔开设有限位槽，提手两端分别连接两立板。本实用新型用于解决硅板搬运不方便的问题。利用两立板及连接在立板之间的限位杆形成放置硅板的框架结构，间隔设置在限位杆上的限位槽分隔放置各硅板，保证硅板之间互不接触，且方便每块硅板的取出，连接在立板上的提手方便对整体大重量的硅板及提篮的提起搬运。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提篮 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
