[实用新型]一种固定碳化硅籽晶的装置有效
| 申请号： | 202120913417.2 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN216006087U | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 皮孝东;徐所成;钟红生;王亚哲;姚秋鹏;罗昊;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 杭州乾晶半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 33289 | 代理人： | 金方玮 |
| 地址： | 311200 浙江省杭州市萧山*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种固定碳化硅籽晶的装置，包括坩埚本体以及与坩埚本体盖合的坩埚盖，所述坩埚本体上部设有活动连接的承载环与籽晶盖，所述承载环与籽晶盖用于固定籽晶；所述承载环与籽晶盖同心轴。本实用新型的装置减少了一道籽晶粘接预处理工艺，降低了从籽晶盖分离取出晶体的困难度，规避后续加工造成的一系列问题，减小了晶体中的缺陷密度，进而提高碳化硅晶体生长的效率、良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固定 碳化硅 籽晶 装置 | ||
【主权项】：
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