[实用新型]一种切换掩模板的装置有效
| 申请号： | 202120916936.4 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN215103484U | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 赵鹏鹏;赵平;胡淳;武启飞 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种切换掩模板的装置，掩模板盘沿环向均匀设置有多个放置掩模板的第一凹槽；基片盘设置有至少一个用于放置基片的第二凹槽；定位盘与掩模板盘同轴设置并同步转动；定位盘包括环向间隔设置的多个挡片，各挡片之间具有缺口；缺口用于通过光电传感器的光信号，挡片用于阻挡光电传感器的光信号，光电传感器根据光信号的通断接通或断开驱动电机，时间继电器根据控制信号在光电传感器断开驱动电机时接通驱动电机；驱动电机转动以驱动掩膜盘转动，以将各第一凹槽分别转动至相应的第二凹槽处，该切换装置简单易操作，成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切换 模板 装置 | ||
【主权项】：
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