[实用新型]一种分子束外延生产设备中的多尺寸衬底托板有效
| 申请号： | 202121011927.7 | 申请日： | 2021-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN215289037U | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 郭帅;杜全钢;冯巍;谢小刚 | 申请（专利权）人： | 新磊半导体科技（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/02 | 分类号： | C30B23/02;C30B25/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215151 江苏省苏州市高新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种分子束外延生产设备中的多尺寸衬底托板，涉及半导体制造技术领域。该托板包括托板主体和尺寸转换板，托板主体用于承载尺寸转换板，尺寸转换板包括转换板主体、3吋及2吋转换件，转换板主体用于承载四分之一4吋衬底片，转换板主体还用于承载3吋及2吋转换件，在将3吋转换件放置在转换板主体上时，用于承载四分之一3吋衬底片；在将3吋及2吋转换件同时放置在转换板主体上时，用于承载四分之一2吋衬底片。通过设置尺寸转换板，在进行校准生长时，可以在4吋衬底托板上根据需要选择放置对应的尺寸转换板，从而使衬底托板能够承载四分之一的4吋或3吋或2吋衬底片，减少了对衬底的浪费，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子 外延 生产 设备 中的 尺寸 衬底 | ||
【主权项】：
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