[实用新型]一种探针卡固定治具及检测台有效
申请号: | 202121012838.4 | 申请日: | 2021-05-12 |
公开(公告)号: | CN215909811U | 公开(公告)日: | 2022-02-25 |
发明(设计)人: | 刘乐;刘伟;魏寅;曾岩;梁天丰;程乃盛;赵海洋;李安平 | 申请(专利权)人: | 深圳米飞泰克科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 李红艳 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区宝龙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请提供了一种探针卡固定治具及检测台,探针卡固定治具包括:底座;两个支撑座,两个所述支撑座设于所述底座上;定位基板,所述定位基板固定在所述支撑座顶端,且所述定位基板底部具有朝向所述底座的水平表面;驱动器,所述驱动器可移动设置于所述支撑座上,且所述驱动器顶端用于放置探针卡;所述驱动器用于驱动所述探针卡向所述水平表面方向移动。本申请解决了现有的探针卡固定治具将探针卡固定之后测量的探针长度有误差,会使探针卡的校准精度下降的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 探针 固定 检测 | ||
【主权项】:
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