[实用新型]一种纳米压印机基片定位装置有效
| 申请号： | 202121016555.7 | 申请日： | 2021-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN214896195U | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 常熟埃眸科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 天津市科航尚博专利代理事务所(普通合伙) 12234 | 代理人： | 吴疆 |
| 地址： | 215505 江苏省苏州市常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种纳米压印机基片定位装置，包括底板、环形晶圆座和丝杆座，还包括螺纹杆、弧形托块和光刻镜头座，所述底板顶部设有环形晶圆座，所述光刻镜头座设置于环形晶圆座顶部，所述环形晶圆座内设有圆形支撑块，所述环形晶圆座与圆形支撑块之间底部通过螺栓安装有圆形玻璃片，所述圆形玻璃片顶部两侧且位于环形晶圆座与圆形支撑块之间设有丝杆座，所述丝杆座两端分别通过螺栓与环形晶圆座和圆形支撑块安装连接，所述丝杆座顶部均设有弧形托块。整体纳米压印机基片定位装置使用稳定高效，可助于人员对多种规格的晶圆基片进行支撑定位，具有良好的位置校正部件，助于晶圆基片加工品质更高，具有较高的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 机基片 定位 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常熟埃眸科技有限公司，未经常熟埃眸科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202121016555.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可定量下料的乳液罐
- 下一篇：一种装配式建筑预制构件生产用固定装置
