[实用新型]抽真空式油蒸发器和真空镀膜机有效
| 申请号： | 202121041250.1 | 申请日： | 2021-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN214612723U | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 黎裕有 | 申请（专利权）人： | 广东顺德凯普司特电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 佛山市科策知识产权代理事务所(普通合伙) 44539 | 代理人： | 蔡怡莉 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市顺*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种抽真空式油蒸发器和真空镀膜机，其中，所述抽真空式油蒸发器包括：蒸发主体，所述蒸发主体具有蒸发腔室，所述蒸发主体上开设有与所述蒸发腔室连通的油雾出口；喷嘴板，所述喷嘴板设于所述蒸发主体，所述喷嘴板上开设有喷嘴孔，所述喷嘴孔与所述油雾出口连通；油蒸发模块，所述油蒸发模块设于所述蒸发主体且与所述蒸发腔室连通，所述油蒸发模块通过外供油管与外部屏蔽油连通；和真空回收装置，所述真空回收装置与所述蒸发腔室连通。本实用新型技术方案旨在提供一种减少油雾飞溅、避免薄膜污染以及提高金属化薄膜质量的抽真空式油蒸发器。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 蒸发器 真空镀膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东顺德凯普司特电子材料有限公司，未经广东顺德凯普司特电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202121041250.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
