[实用新型]一种太阳能电池ALD自动化设备的去除硅片表面静电装置

摘要

本实用新型公开了一种太阳能电池ALD自动化设备的去除硅片表面静电装置，包括设备PLC控制器、设备CDA总端、设备吸盘、设备顶齿、两个对称设置于设备顶齿两侧的设备梳齿、设备支架和活动连接于设备支架左侧前端面的移动风刀，设备支架的右侧前端面设有静电消除棒，静电消除棒的风口朝设备顶齿方向设置，静电消除棒通过气管与设备CDA总端管路连通，气管上位于静电消除棒和设备CDA总端之间设有电磁阀，静电消除棒电性连接有高压电源，电磁阀和高压电源分别与设备PLC控制器电性连接，静电消除棒和电磁阀可在设备PLC控制器的控制下同步工作，使静电消除棒的风口间歇性输出带正负电荷的气流；本实用新型能具有静电去除效果好、节约能源的优点。