[实用新型]一种水浴系统有效
| 申请号： | 202121064822.8 | 申请日： | 2021-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN216744933U | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 袁康;田震超;张林健 | 申请（专利权）人： | 江苏索尔思通信科技有限公司 |
| 主分类号： | F24H7/04 | 分类号： | F24H7/04;F24H9/20;F24H15/421;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市领专知识产权代理有限公司 11590 | 代理人： | 林辉轮;张玲 |
| 地址： | 213200 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种水浴系统，包括水浴装置，所述水浴装置构造有用于容纳液体的内部空腔，所述内部空腔中设置有用于容纳药液的反应容器，且反应容器与内部空腔的侧壁之间设置有用于进行热交换的换热管，控温装置，所述控温装置的进液口和出液口分别通过管道与所述换热管相连通并构成循环回路，所述控温装置用于控制换热管内循环液的温度；本实用新型所提供的水浴系统，结构紧凑、设计合理，可以有效控制刻蚀过程中药液的温度，达到恒温水浴的目的，不仅使得刻蚀速率可控，而且使得刻蚀形貌可控，有利于改善晶圆刻蚀后的形貌，有利于控制刻蚀效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水浴 系统 | ||
【主权项】：
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