[实用新型]一种无摩擦的超洁净磁悬浮阀

摘要

本实用新型公开了一种无摩擦的超洁净磁悬浮阀。阀座和阀盖围成超洁净流室，超洁净流室具有进出口流道；磁悬浮阀芯在超洁净流室内；致动组件安装在阀盖外，致动组件内嵌装有外置永磁体分层磁组，通过致动组件带动外置永磁体分层磁组沿超洁净流室上下移动，进而磁性带动超洁净流室中的磁悬浮阀芯沿超洁净流室上下移动进而靠近或者远离进口流道在阀座的出口，实现阀控。本实用新型避免了阀杆推动阀芯所需的动密封结构，杜绝了外泄漏的风险，提高了阀整体寿命，可调节开度的同时实现了阀芯的被动磁悬浮，避免了阀芯碰壁，减少了颗粒脱落污染。