[实用新型]压电驱动器及纳米位移台

摘要

本实用新型涉及一种压电驱动器及纳米位移台，压电驱动器包括柔性惯性体及压电陶瓷，柔性惯性体包括底座、纵梁、安装座、柔性块、横梁及桥板；纵梁设置在底座上，安装座与纵梁连接，且安装座能够相对底座摆动；安装座上设有装配腔，柔性块及压电陶瓷设于装配腔内，且柔性块与压电陶瓷相接；横梁设置在柔性块的顶部上，桥板与横梁连接，且桥板能够相对柔性块摆动。桥板用于连接第一摩擦片，与第一摩擦片摩擦接触的第二摩擦片用于连接滑台，通过在安装座与底座之间设置纵梁，通过在桥板与柔性块之间设置横梁，实现了第一摩擦片与第二摩擦片的自适应贴合，有效地补偿了第一摩擦片及第二摩擦片的尺寸加工及安装误差。