[实用新型]一种凸型自增强聚焦耦合光栅耦合器

摘要

本实用新型涉及一种凸型自增强聚焦耦合光栅耦合器，属于集成光电子技术领域。本实用新型所述凸型自增强聚焦耦合光栅耦合器从下至上包括硅衬底、埋氧层、波导层、上包层，所述埋氧层为SiO2层，所述波导层为硅层阵列波导光栅，所述上包层上设有SiO2层凸面。本实用新型提供一种新型的光栅结构，本实用新型所述上包层设置为凸透镜结构，用于聚焦作用，可以最大限度增大光纤与光栅之间的光耦合，减小耦合损坏；本实用新型所述凸型自增强聚焦耦合光栅耦合器耦合效率高、应用前景广，使用成熟的制造工艺就能被设计实现。