[实用新型]拼接式载板框架结构、载具及化学气相沉积设备

摘要

本实用新型提供了一种拼接式载板框架结构、载具及化学气相沉积设备，化学气相沉积设备包括传输装置，拼接式载板框架结构包括：平行并间隔设置的两个边框筋；多个横筋，相互间隔地连接在两边框筋之间且垂直于边框筋；至少一个竖筋，位于两个边框筋之间且平行于边框筋，任一竖筋的两端均连接在相邻两个横筋之间；多个横筋、至少一个竖筋、两个边框筋均由沿至少两个拼接件拼接形成。在该方案中，框架拼接形成的，这样一方面降低了框架的加工难度。另一方面，能够减小框架的整体变形，保证载具在滚轮上传输的稳定性，提高了自动化设备的定位精度。同时，减小框架的整体变形，还能降低因载具变形对硅片温度均匀性的影响，确保硅片加工的工艺效果。